事業内容
産業用真空装置の設計・製造・販売
1.水蒸気熱処理装置、蒸着装置、スパッタ装置、太陽電池製造関連装置など産業用真空装置の設計・製造
2.各種電子デバイス等の研究開発装置 及び コンポーネンツの設計・設計受託・販売
3.各種真空装置のメンテナンス・改造
4.その他真空部品の設計製作販売
【装置設計製造】
リストの画像設計・開発 🔹スパッタ装置
      🔹蒸着装置
      🔹CVD装置
      🔹エッチング装置
      🔹分析装置
      🔹真空機器・部品
      🔹各ユニット  他

受託製造  🔹実験・開発装置
      🔹凍結乾燥装置
      🔹太陽電池製造装置
      🔹半導体製造装置
      🔹FPD製造装置
      🔹各ユニット  他
【真空部品】
リストの画像加工部品  🔹チャンバー
      🔹溶接加工
      🔹蒸着装置
      🔹ステンレス・アルミ・チタン・
        モリブテン・タングステン・
        セラミック・樹脂加工  他

規格部品  🔹JIS規格・ICF規格
      🔹ISO-KF・LF規格
      🔹各種変換継手
      🔹ガスライン継手
      🔹フレキシブル継手
      🔹導入端子
      🔹各種Oリング、ガスケット 他
【サービス】
リストの画像改造・修理  🔹蒸着装置
       🔹スパッタ装置
       🔹CVD装置
       🔹エッチング装置
       🔹分析装置
       🔹真空機器・部品
       🔹各ユニット  他

メンテナンス 🔹オーバーホール
       🔹装置再組立・調整
       🔹各種気密試験
       🔹性能確認   他

配管設計施工 🔹現地配管設計
       🔹製作・施工
       🔹検査(リークチェック)
       🔹耐震固定工事
       🔹ケーブルラック設置 他

移  設   🔹運搬・設置
       🔹装置再組立・立ち上げ
       🔹蒸着装置
       🔹各種気密試験
       🔹性能確認 他