取扱製品

 

真空アニール装置  水蒸気熱処理装置  蒸着装置  スパッタリング装置  汎用プラズマヘッド(平衡平板・ICPタイプ)

PE-CVD装置  RFイオン源  LD照射装置  真空搬送ユニット  真空排気ユニット  酸化プラズマ装置